電界放射型走査電子顕微鏡#2
複合材等の微小部観察、微小部元素分析に用います。
製造元 | 日立製作所(株) |
---|---|
型式 | S-4700型 |
電子銃 | 冷陰極電界放射形 |
光学系 | セミインレンズ方式 |
X線分光器 | エネルギー分散型(分析対象元素:B~U) |
完成年度 | 1998年度 |
複合材等の微小部観察、微小部元素分析に用います。
製造元 | 日立製作所(株) |
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型式 | S-4700型 |
電子銃 | 冷陰極電界放射形 |
光学系 | セミインレンズ方式 |
X線分光器 | エネルギー分散型(分析対象元素:B~U) |
完成年度 | 1998年度 |