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宇宙航空研究開発機構

電界放射型走査電子顕微鏡#2

複合材等の微小部観察、微小部元素分析に用います。

製造元 日立製作所(株)
型式 S-4700型
電子銃 冷陰極電界放射形
光学系 セミインレンズ方式
X線分光器 エネルギー分散型(分析対象元素:B~U)
完成年度 1998年度
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